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Aisladores de vibración activa y pasiva (OEM)

  • micro-g pneumatic isolators for OEM integration thimbnail
    Aisladores de aire Micro-g para aplicaciones en herramientas

    Aisladores de vibración neumáticos Micro-g® de alto rendimiento en una gama de capacidades de peso, niveles de amortiguación y opciones de control de altura para aplicaciones en herramientas de fabricantes de equipos originales (OEM)

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  • ElectroDamp stage vibration cancellation
    Cancelación de vibración de aire activa Electro-Damp® II

    Electro-Damp® está diseñado específicamente para aumentar la producción, la resolución y el rendimiento en aplicaciones de fabricación de semiconductores. El Electro-Damp II agrega modularidad, control digital, alimentación anticipada, actuadores de alta fuerza/alta holgura, y las múltiples interfaces de usuario digitales están diseñadas específicamente para usarse en aplicaciones OEM.

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  • PEPS II pneumatic isolator controller
    Sistema de nivelación de aire activa PEPS® II

    PEPS® II es un sistema digital de control de altura sin contacto para los sistemas de aislamiento de vibración neumáticos de TMC. Las aplicaciones van desde equipos de fabricación de semiconductores para mejorar el tiempo de establecimiento y aumentar los rendimientos, hasta entornos de laboratorio de precisión que exigen el rendimiento óptimo de ruido y la estabilidad de la plataforma.

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  • Vibration cancellation for semiconductor moving stage tools
    Stage-Base™

    Stage-Base™ 450 de TMC está diseñado específicamente para ser el principal sistema de cancelación de vibración para herramientas semiconductoras avanzadas que incorporan etapas X-Y motorizadas de alta precisión. Con la adición de VCM con control de alimentación anticipada para un tiempo de ajuste aún más rápido para aumentar más el rendimiento, el resultado es el sistema más avanzado de cancelación de movimiento y vibración activa para aplicaciones de etapa móvil.

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