Electro-Damp® es el primer sistema de aislamiento contra vibraciones activo comercial diseñado específicamente para aumentar la producción, la resolución y el rendimiento en aplicaciones de fabricación de semiconductores. El Electro-Damp II es un nuevo diseño del sistema original, el cual agrega modularidad, control digital, alimentación anticipada, actuadores de alta fuerza/alta holgura, y las múltiples interfaces de usuario digitales están diseñadas específicamente para usarse en aplicaciones OEM como las herramientas de microlitografía, inspección y metrología.
Las herramientas de fabricación de semiconductores imponen demandas conflictivas a su sistema de aislamiento contra vibraciones. En respuesta al ruido en el piso, el sistema debe ser suave para filtrar efectivamente la vibración del piso para que no alcance la superficie aislada. Simultáneamente, el sistema debe ser rígido en respuesta a las fuerzas de la etapa, de modo que el movimiento de la etapa induce un desplazamiento mínimo de la superficie aislada y se asienta rápidamente.
Además de emplear amortiguación de retroalimentación inercial y activa, Electro-Damp II utiliza alimentación anticipada de la información para mejorar aún más la respuesta del sistema. La alimentación anticipada funciona tomando información de un controlador de etapa sobre la posición y la aceleración de la misma, luego procesa esos datos para proporcionar una acción de fuerza a la carga útil, reduciendo en gran medida el movimiento de la carga útil inducida por la etapa. El sistema puede leer la información de alimentación anticipada de forma digital, como señales analógicas bipolares, o leyendo la salida de los codificadores de cuadratura. El controlador digital DC-2000 también puede ajustar automáticamente los parámetros requeridos por la alimentación anticipada usando un patrón de prueba de etapa. Esto hace que la configuración en las instalaciones iniciales, o después de los cambios en la carga útil, sea rápida y fácil.
La modularidad de Electro-Damp II permite que el sistema se use solo con servo válvulas electrónicas (para aplicaciones pesadas y de baja aceleración como las CMM), solo con activación electromagnética (para etapas más livianas que usan velocidades de aceleración altas), o una combinación de ambas para las aplicaciones más exigentes.