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Sistema de nivelación de aire activa PEPS® II

  • Descripción general +


    PEPS® II mejora y se basa en el sistema patentado PEPS® (Sistema de posicionamiento electrónico de precisión) de TMC. Con la adición de un nuevo controlador digital, PEPS® II es más fácil de usar, ofrece más funciones y tiene una interfaz de usuario mejorada. PEPS® II es un sistema digital de control de altura sin contacto para los sistemas de aislamiento de vibración neumáticos de TMC. Tales sistemas normalmente incorporan válvulas de altura mecánicas y una conexión de detección de altura mecánica. Sus aplicaciones van desde equipos de fabricación de semiconductores para mejorar el tiempo de establecimiento y aumentar los rendimientos, hasta entornos de laboratorio de precisión que exigen el rendimiento óptimo de ruido y la estabilidad de la plataforma. 

    N.° de patente de EE. UU. 5,832,806

  • Características +


    • Interfaz LCD fácil de usar de control digital
    • Control de altura electroneumático sin contacto para sistemas de aislamiento contra vibraciones Gimbal Piston™, CSP® y MaxDamp®
    • Repetibilidad de la posición del eje Z: 10 micrones
    • Aislamiento de vibración mejorado debido a la eliminación del contacto de palanca de los sistemas de control de altura mecánicos convencionales
    • La función de alimentación anticipada neumática minimiza la reacción del eje Z al movimiento de la etapa X-Y
    • Puede ser ajustado para resolver rápidamente el movimiento inducido por las etapas X-Y
    • La función opcional “VX” incorpora sensores inerciales para la amortiguación activa de la resonancia del aislador vertical
    • Compatible con “soft-dock”. Permite la carga/descarga de obleas sin montaje cinemático
    • Válvulas electrónicas proporcionales. No se introducen ruidos de pulso mediante válvulas electrónicas de “activación y desactivación” o convencionales
    • Tubería de escape a plomo para la eliminación limpia del aire residual
    • Control de muelle lógico y estado
  • Especificaciones +


    Dimensiones físicas
    Controlador PEPS® II 1,72" (43,7 mm) Al x 8,0” (203 mm) P x 9,4” (240 mm) P
    Peso
    Controlador PEPS® II: aproximadamente 3,0 lb (1,2 kg)
    Ambiental
    (consulte la norma EN 61010-1: 1993,
    EN 61010-1/A2: 1995)
    Solo para uso en interiores, hasta una elevación de 2.000 m (6560 pies)
    Rango de temperatura máxima permitida: 5° C a 35° C
    Humedad máxima permitida: 80 % hasta 31° C, disminuyendo linealmente 50 % de humedad relativa a 40° C
    Tolerancia en voltaje de suministro principal: 85 V CA - 240 V CA
    Categoría de sobrevoltaje: 2
    Grado de contaminación (IEC 664): 2
    Requisitos de ventilación: espacio libre de 25 mm en los laterales, arriba y abajo de 0 mm
    Requisitos de alimentación
    Rango de voltaje de entrada de alimentación: 90-230 VCA
    Rango de frecuencia de entrada: 50-60 Hz
    Interfaz de usuario PEPS® II
    (Panel frontal)
    Interruptor de alimentación
    4 botones de menú
    Pantalla LCD de 20 x 2 caracteres
    2 tomas de diagnóstico (tipo BNC)
    LED de estado de tres colores
    Puerto USB
    Interfaz PEPS® II
    (Panel trasero)
    Entrada de alimentación de CA con filtro EMI
    1 puerto de inserción a presión de ENTRADA de aire para tubería de D.E. de 1/4”
    1 puerto de inserción a presión de SALIDA (Escape) de aire para tubería de D.E. de 1/4”
    4 puertos de inserción a presión de aire para tubería de D.E. de 1/4” (uno por aislador)
    Entradas y salidas macho DB-25 y toma de alimentación anticipada
    1 cabezal Phoenix de 0,2" de pitch 6 pines VERDE (sensores de proximidad verticales)
    1 cabezal Phoenix de 3,5 mm de pitch 6 pines NEGRO (sensores de proximidad horizontales)
    Montante roscado de conexión a tierra (rosca #10-32)
    Toma DB-25 F: 1x entrada digital, interfaz de 3x sensores de geófono (opción “-VX”)
    Toma DB-25 F: 1x entrada digital, 3x sensores de proximidad de salida de corriente (opcional)
    Especificaciones de
    rendimiento
    de PEPS® II
    Entradas analógicas (unipolar): 8 x 12 bit (16 bit usando el sobremuestreo), 0…3,0 V escala completa
    Entradas analógicas (alimentación anticipada): 5 x 12 bit
    (16 bit usando el sobremuestreo), ±9 V escala completa
    Protección de entradas analógicas (unipolar): +5 Voltios, -0,5 V fijación
    Protección de entrada analógica (alimentación anticipada): ±15 Voltios fijación
    Salidas analógicas: 4 x 12 bit (16 bit con sobremuestreo), 0…3,0 V escala completa
    Salidas analógicas (OPCIONAL): 8 x 16 bit, 0…3,0 V escala completa
    Protección de salida analógica: protección de cortocircuito indefinido, 5 Voltios fijación
    Clasificación de voltaje de entrada digital: 0…+3,3 V, +5 V tolerante (+5 Voltios fijación)
    Clasificación de salida digital: 0…+3,3 V, 20 mA máx.
    Protección E/S digital: +5 voltios, -0,5 voltios fijación
    Alimentación externa disponible: +5 VCC, 2,0 A máx; +15 VCC, 1,0 A máx. (20 vatios máx)
    Puerto de comunicación: USB, aparece como RS-232 en PC
    Procesador: ARM7TDMI / 41,78 MHz
    Tasa de bucle de control: 100 Hz - 2,0 KHz
    Sensores de proximidad: 3x vertical, (3x horizontal opcional) Corriente de Foucault, salida NAMUR 0-20 mA
    Sensores de velocidad - geófonos (opción “-VX”): 3x vertical, salida de corriente
    Especificaciones
    neumáticas
    Estabilidad de altura a largo plazo: ±50 micrones
    Estabilidad de inclinación a largo plazo: ±50 micro radianes
    Válvulas servo: 4 x válvulas servo proporcionales de orificio variable bidireccionales
    Técnica de válvulas: pura clase A
    Presión máxima de entrada: 120 PSI o 8,3 Bar o 830 KPa
    Consumo de aire nominal: 60 slpm (2 scfm)
    Requisitos de aire: aire limpio y seco, filtrado a 20 micrones o superior
    Seguridad contra fallas: los aisladores se desinflan en caso de una falla de alimentación o apagado.
    Accesorios neumáticos: accesorios rápidos “one touch” para manguera de 1/4" de D.E
  • Rendimiento +


  • Para ordenar +


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