STACIS Quiet Island

Las fábricas de manufactura de semiconductores (fabs), los centros de nanotecnología, los nanofabs y otras instalaciones de investigación y fabricación de precisión a menudo incorporan salas estériles con un sistema de pisos falsos elevados para adaptarse a los requisitos de instalaciones complejas (tuberías, cables eléctricos, tuberías de gas, etc.) y para mantener normas estrictas de limpieza. Tales pisos representan un desafío para la instalación de equipos de producción, inspección y metrología sensibles a la vibración. Los pisos elevados no pueden proporcionar el entorno de vibración silencioso necesario para tales herramientas. La Quiet Island de TMC es una solución innovadora que reemplaza una sección de la superficie de piso elevada con una “isla tranquila” anclada por debajo del subsuelo. Quiet Island consiste en una plataforma superior compatible con sala estéril combinada con una aplicación y una estructura de soporte específica para el sitio.

Cancelación de vibraciones

El principal elemento de soporte y la tecnología principal única de Quiet Island es el Sistema de cancelación de vibración activa STACIS III. Este sistema de soporte de cancelación de vibración inercial de estilo “rígido” es crítico para cualquier instrumento sensible a la vibración, permitiendo que dichas herramientas operen a sus estándares más altos en un entorno de otro modo ruidoso. STACIS III es compatible con herramientas automatizadas de procesamiento de obleas, herramientas de imagen de eBeam de alta resolución, herramientas de fresado de haz de iones y cualquier herramienta con sistemas internos de aislamiento contra vibraciones, tanto pasivos como activos (consulte nuestra documentación técnica sobre el apilamiento activo en aisladores activos). Además, proporciona el mayor aislamiento contra vibraciones en el rango de frecuencia más amplio disponible comercialmente. Y, el diseño de “montaje duro” es extremadamente rígido, por lo que no existe un problema de estabilidad para las herramientas altas y pesadas.

Elevadores y soportes

Los elevadores extremadamente rígidos y duraderos para soportar los aisladores STACIS están diseñados por el experimentado equipo de ingenieros de TMC y se fabrican con altos estándares y certificaciones de soldadura en nuestra fábrica ISO 9001. Cada Quiet Island está diseñada para adaptarse a una variedad de alturas de pisos elevados, geometrías del subsuelo y huellas de herramientas. Con miles de instalaciones en todo el mundo que admiten más de 200 modelos de instrumentos diferentes, TMC tiene el conocimiento y la experiencia para diseñar una estructura de soporte que satisfaga las necesidades de STACIS y sus instalaciones.

Plataforma rígida

La plataforma es un laminado de 4 pulgadas (100 mm) de TMC de placas de acero emparedadas en torno a un material ligero, incompresible y amortiguado. El efecto de estratificación de las placas de acero rígidas y el núcleo, adherido con epoxi en una bandeja sin costura, de acero inoxidable, proporciona un nivel extremadamente alto de rigidez y amortiguación estructural. La gran sección transversal y el contenido de acero producen un nivel muy alto de rigidez general. La parte superior y los lados son una cubierta continua de una sola pieza de acero inoxidable para preservar la limpieza, apariencia e integridad. TMC diseña y fabrica las plataformas específicas para la aplicación que incorporan recortes, formas especiales, orificios de amarre y pernos de elevación según sea necesario.

Diseñar una instalación para cumplir con los estrictos criterios de vibración de un equipo de imágenes extremadamente preciso puede ser muy desafiante y, a menudo, costoso, particularmente cuando no todas las herramientas en la instalación requieren estos niveles de vibración muy bajos. ^{< a href = "# 1"> [1]}

Representación estadística (en términos de Spectra media más Sigma) de vibraciones verticales en un área típica de producción de semiconductores fab en "tal como está" y dos veces después ^[2]

Es muy difícil aislar áreas muy grandes como edificios enteros o un piso completo. También está bien documentado que los niveles de vibración del edificio aumentarán en relación con una especificación de diseño a medida que la instalación esté poblada de equipos y personas. Las mediciones repetidas de la vibración unos meses o un año después, muestran que los niveles de vibración del piso generalmente aumentan con el tiempo. ^[2]

El enfoque más rentable y exitoso para lograr los estrictos requisitos de las herramientas sensibles a la vibración es emplear el control de vibración activo en el punto de uso con tecnología piezoeléctrica en serie, particularmente para mitigar la desafiante vibración de baja frecuencia (menos de 5 Hz) (< em> ejemplo aquí ).

TMC puede trabajar con su equipo para diseñar una solución Quiet Island específica de la herramienta. Este proceso nos permite ver cada herramienta específicamente y proporcionar la mejor solución de rendimiento. Un diseño de edificio que incorpora un gran subsuelo de hormigón y ldquo; losa y rdquo; con un & ldquo; piso elevado & rdquo; permite flexibilidad en la selección de herramientas después de la construcción. Reemplazar el piso elevado con una isla silenciosa solo donde sea necesario proporciona el conjunto de herramientas más sensible con un entorno de vibración de un orden de magnitud, al menos, más bajo que el subsuelo.

Consulte también Los beneficios de incluir el control de la vibración del piso para instalaciones de nanotecnología sobre el diseño "silencioso Artículo "Edificios sobre AZO Nano.

¹ Criterios en evolución para las instalaciones de investigación: I & ndash; Vibration, Colin Gordon Associates, SPIE Conference 5933: Buildings for Nanoscale Research and Beyond, 2005, Fuente < / a>

² Maduración del entorno de vibración en instalaciones de tecnología avanzada, Colin Gordon Associates , Journal of the IEST, V. 48, No. 1, 2005, Fuente

• Incorpora STACIS: la tecnología de cancelación de vibración piezoeléctrica activa de TMC no tiene igual en la industria, con su diseño y aislamiento de “montaje duro” a partir de 0,6 Hz, compatible con herramientas que incorporan aisladores internos.
• Modularidad, personalización y flexibilidad de reubicación: cada plataforma se adapta individualmente a la aplicación del cliente, pero se puede reconfigurar fácilmente si la herramienta o las características del piso cambian, a diferencia de los zócalos de hormigón.
• Experiencia: TMC tiene una amplia experiencia trabajando con los fabricantes de semiconductores líderes en el mundo, instalaciones científicas y fabricantes de equipos originales de alta precisión. Conocemos a nuestros clientes y sus necesidades. Diseñamos y fabricamos internamente.

Transmisibilidad medida en una Quiet Island de 40”x60” de 24” de altura, soporte STACIS de 4 monturas, entrada VC-C desde el piso

Para las especificaciones de aislamiento de vibración, vea STACIS® III.

Los instrumentos grandes sin una especificación de vibración para el medio ambiente a menudo requieren un soporte rígido y estable separado del piso elevado. Quiet Island rígida es la solución ideal. Con la misma plataforma de alto rendimiento, Rigid Quiet Islands también está diseñada a medida para instalaciones en salas estériles de pisos elevados a cualquier altura, cualquier geometría del subsuelo y para una variedad de huellas de herramientas. TMC ofrece una gama de diferentes tipos de postes de soporte para adaptarse a una variedad de requisitos, lo que da como resultado una solución específica para el instrumento y fabricantes, sin embargo, es modular, brinda flexibilidad para reubicarse y es actualizable.

Debido a la complejidad, la sensibilidad y el valor del equipo instalado en nuestras plataformas de subsuelo de Quiet Island®, no mantenemos números de catálogo estándar para pedidos. Consideramos que cada instalación es una solución de diseño personalizado. El procedimiento recomendado para ordenar es el siguiente:

• Díganos qué equipo o instrumento quiere aislar. Debido a nuestra base instalada, es probable que ya hayamos diseñado un diseño de plataforma para los requisitos de su aplicación. Además, mantenemos un contacto cercano con los fabricantes de herramientas, alineadores, SEM y otras herramientas para mantenerse al día con el tamaño, la forma, los cambios de peso y las especificaciones de vibración del piso.
• Alternativamente, puede querer que un sistema se ajuste al sistema de rejilla de piso elevado. Los especificadores a menudo optan por una plataforma de 47 x 47 in. (1.190 x 1.190 mm) para reemplazar un número par de baldosas.
• Díganos la altura de su piso elevado sobre el subsuelo sólido.
• Descríbanos o proporcione una ilustración que muestre cualquier patrón de orificios en el subsuelo o la geometría de la viga de acero/losa de gofres.
• Proporciónenos datos de vibración del piso o discuta con nosotros cómo hacer arreglos para que estos datos se midan.
• Considere la sensibilidad a la vibración del instrumento. Muchas herramientas son adecuadamente compatibles con nuestro diseño de postes rígidos, no resonantes. Las aplicaciones más sensibles requerirán apoyo aéreo o piezoeléctrico