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SEM-Base

SEM-Base active vibration isolation platform for electron microscopes

  • Descripción general +


    SEM-Base® VI es la siguiente generación en la cancelación activa de vibraciones piezoeléctricas STACIS. SEM-Base VI está diseñado para ser compatible con todos los microscopios electrónicos de barrido comerciales (SEM), así como con muchos instrumentos de haz de iones focalizados (FIB) e instrumentos pequeños de doble haz. SEM-Base VI proporciona un rendimiento mejorado de aislamiento contra vibraciones, un controlador más rápido y robusto y una interfaz gráfica de usuario avanzada (GUI). SEM-Base VI permitirá que más laboratorios e instalaciones alcancen el nivel de vibración del piso requerido para satisfacer las especificaciones del fabricante de la herramienta. 

    SEM-Base VI utiliza una “arquitectura en serie” única en la que los sensores de vibración miden la vibración del piso, no la vibración de la carga útil. Esto garantiza que, a diferencia de otros diseños, las resonancias de carga útil no limitan inherentemente el aislamiento contra vibraciones ni causan inestabilidad. Los sensores de vibración son sensores de velocidad inercial de baja frecuencia para una máxima sensibilidad en el rango de sub-Hz difícil de medir. En combinación con nuestra exclusiva tecnología de actuador piezoeléctrico, SEM-Base VI logra niveles extremadamente altos de cancelación de vibración, incluso en pisos ya silenciosos. 

    SEM-Base VI proporciona, en promedio, 6 dB más de aislamiento de vibración que los modelos anteriores. Además, el controlador de próxima generación de TMC, el DC-2020, cuenta con un nuevo procesador de doble núcleo y proporciona a los propietarios de herramientas e investigadores una interfaz gráfica muy simple y fácil de usar para la evaluación rápida del sistema y la tranquilidad operativa. Cuando se conecta a través de Ethernet, el DC-2020 crea la GUI de la SEM-Base en el navegador del usuario sin necesidad de software o programa de aplicación adicional para instalar. Alternativamente, el usuario puede interactuar con el controlador a través de una pantalla de cristal líquido (LCD) controlada por menú integrada. 


    NOTA: Consulte SEM-Closure, una solución ambiental total diseñada específicamente para proteger los SEM. Puede alojar SEM-Base y Mag-NetX®  en una cámara acústica sellada y con temperatura controlada, protegiendo así al SEM contra vibraciones, perturbaciones del campo magnético y ruido acústico.

  • Ventajas de SEM-Base VI +


    Tecnología de montaje duro: SEM-Base VI es compatible con todos los sistemas de control de vibración de SEM internos y mitiga agresivamente la vibración de baja frecuencia en el piso a partir de 0,6 Hz.

    Cancelación de vibraciones inerciales activas: SEM-Base VI utiliza sensores de alta sensibilidad y baja velocidad de inercia para lograr altos niveles de atenuación de vibraciones, incluso en pisos silenciosos. 

    Diseño de serie con tecnología piezoeléctrica: el diseño de serie único y la tecnología piezoeléctrica patentada de alta fuerza generan un ancho de banda activo amplio de 0,6 Hz a 150 Hz y una cancelación de vibración activa inercial incomparable con una reducción del 90 % a partir de 2 Hz.

  • Especificaciones +


    Especificaciones de rendimiento
    Grados de libertad activos 6
    Ancho de banda activo 0,6 Hz - 100 Hz
    Frecuencia natural pasiva 12 Hz nominal
    Frecuencia de resonancia activa efectiva 0,5 Hz
    Aislamiento a 1 Hz 40 % - 70 %
    Aislamiento a 2 Hz 90 %
    Aislamiento a ≥3 Hz 90-98 %
    Ruido interno <0.1 nm RMSd>
    Rango de carga de operación Capacidad estándar: 900 - 2.500 lbs (408 - 1134 kg)
    Alta capacidad: 2.500 - 3.200 lbs (1134 - 1452 kg)
    Campo magnético emitido
    a máximo de 4 in. (102 mm)
    desde la plataforma    		 <0.02 μG broadband RMSd>
    Diseño, dimensiones y requisitos ambientales y de utilidad
    Medio ambiente y seguridad Cumplimiento CE y RoHS
    Elementos de aislamiento activo Actuadores piezoeléctricos con un mínimo de 3300 lb. (1500 kg) de capacidad para recibir la señal de un amplificador de alto voltaje con una salida de hasta 800 VCC. Los actuadores verticales soportan la carga útil aislada.
    Elemento de aislamiento pasivo Elastómero rígido simple (no se requiere suministro de aire comprimido)
    Elementos de sensor de vibración Sensores inerciales tipo geófono orientados hacia abajo
    que miden la vibración del piso debajo del aislador
    y proporcionan voltaje proporcional a la velocidad de movimiento de vibración
    Bucle de control de retroalimentación activa Se mide la vibración del suelo, se procesa
    y se atenúa por debajo del resorte
    que soporta la superficie aislada
    Dimensiones (AnxP) 35,25 x 44,25 in.
    895 x 1124 mm
    Altura 6.3 in. (160 mm) nominal,
    no cambia cuando está apagada la SEM-Base
    Temperatura de funcionamiento 50° - 90° F
    10° - 32° C
    Temperatura de almacenamiento -40° - 130° F
    -40° - 55° C
    Humedad < 80% @ 68° F | 20° C, max dewpoint 18oC
    Requisitos de alimentación del sistema 100, 120, 230, 240 VCA
    50/60 Hz CA; <600 W
    Cumplimiento CE
    Desplazamiento del piso <800 μin. (20 μm) below 10 Hzd>
    Especificaciones de controlador integrado
    Procesador 150/75 MHz doble núcleo
    Tasa de muestreo 10 kHz
    Salidas analógicas 16 canales
    Entradas analógicas 16 canales
    Luz de estado LED simple
    Puertos de panel delantero 1x serial USB 2.0
    1x serial Micro-USB
    1x Ethernet RJ-45
    2x BNC
    Interfaz de usuario Pantalla LCD de panel delantero
    Menú de caracteres en HyperTerminal
    GUI extendida para Microsoft Windows
    GUI Ethernet incorporada

  • Rendimiento +



    1800 lbs (818 kg) de carga útil probada con vibración simulada a VC-C (500 μin./s, 12,5 μm/s RMS)

  • Accesorios +


    Haga clic aquí para ver los accesorios 

  • Fotos de aplicación +


    Scanning electron microscope on SEM-Base VI SEM-Base VI aplicación 171103

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  • Notas de aplicación +

    • hitachi sem image
      Imágenes de SEM

      Imágenes del antes y después, Hitachi S-4800 en SEM-Base®

    • zeiss auriga images
      Imágenes de SEM

      Imágenes del antes y después, Zeiss Auriga FIB-SEM en SEM-Base® con Mag-NetX®

    • portland street car
      Estudio de caso

      La cancelación activa de la vibración piezoeléctrica permite instrumentos avanzados de haz de iones y electrones en entornos urbanos hostiles

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