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SEM Base LP for Thermo Fisher

SEM-Base LP floor vibration cancellation for Thermo Fisher scientific tools

  • Overview +


    SEM-Base LP is a custom, low profile version of our standard SEM-Base active piezoelectric vibration cancellation platform. SEM-Base LP is easier to install, provides outstanding performance, and is ergonomically optimized. The compact design facilitates installation without lifting the Scanning Electron Microscope (SEM) column with anything other than the SEM’s built-in leveling feet. And, once installed, the SEM’s height above the floor does not increase. SEM-Base LP incorporates our unique STACIS piezo technology and has the same vibration cancellation performance as our industry-standard SEM-Base VI. SEM-Base LP includes casters and is designed specifically to integrate with many Thermo Fisher Scientific (formerly FEI) tools.

    SEM-Base LP on a TFS frame iso view SEM-Base LP on a TFS frame side view

    Example of how SEM-Base LP integrates with the bottom frame of the tool

  • Compatible Thermo Fisher Tool Models +


    SEM-Base LP is compatible with many Thermo Fisher Scientific models including:

    • Apreo
    • Aquilos
    • Helios 5
    • Nova NanoSEM x50
    • Prisma
    • Quattro S
    • Scios
    • Teneo
    • Verios 5
    • Versa 3D

    If your SEM/FIB is not listed, contact TMC to check for compatibility.

  • The SEM-Base VI Advantage +


    Hard-Mount Technology – SEM-Base VI is compatible with all internal SEM vibration control systems and aggressively mitigates low frequency floor vibration starting at 0.6 Hz.

    Active Inertial Vibration Cancellation – SEM-Base VI uses high sensitivity, low frequency inertial velocity sensors to achieve high levels of vibration attenuation, even on quiet floors. 

    Serial Design with Piezoelectric Technology – The unique serial design and proprietary highforce piezoelectric technology results in a wide active bandwidth from 0.6 Hz to 150 Hz and unmatched, inertial active vibration cancellation with 90% reduction starting at 2 Hz.

  • Performance +



    1800 lbs (818 kg) payload tested with simulated vibration at VC-C (500 μin./s, 12.5 μm/s RMS)

  • Especificaciones +


    Especificaciones de rendimiento
    Grados de libertad activos 6
    Ancho de banda activo 0,6 Hz - 100 Hz
    Frecuencia natural pasiva 12 Hz nominal
    Frecuencia de resonancia activa efectiva 0,5 Hz
    Aislamiento a 1 Hz 40 % - 70 %
    Aislamiento a 2 Hz 90 %
    Aislamiento a ≥3 Hz 90-98 %
    Ruido interno <0.1 nm RMSd>
    Rango de carga de operación Capacidad estándar: 900 - 2.500 lbs (408 - 1134 kg)
    Alta capacidad: 2.500 - 3.200 lbs (1134 - 1452 kg)
    Campo magnético emitido
    a máximo de 4 in. (102 mm)
    desde la plataforma    		 <0.02 μG broadband RMSd>
    Diseño, dimensiones y requisitos ambientales y de utilidad
    Medio ambiente y seguridad Cumplimiento CE y RoHS
    Elementos de aislamiento activo Actuadores piezoeléctricos con un mínimo de 3300 lb. (1500 kg) de capacidad para recibir la señal de un amplificador de alto voltaje con una salida de hasta 800 VCC. Los actuadores verticales soportan la carga útil aislada.
    Elemento de aislamiento pasivo Elastómero rígido simple (no se requiere suministro de aire comprimido)
    Elementos de sensor de vibración Sensores inerciales tipo geófono orientados hacia abajo
    que miden la vibración del piso debajo del aislador
    y proporcionan voltaje proporcional a la velocidad de movimiento de vibración
    Bucle de control de retroalimentación activa Se mide la vibración del suelo, se procesa
    y se atenúa por debajo del resorte
    que soporta la superficie aislada
    Dimensiones (AnxP) 35,25 x 44,25 in.
    895 x 1124 mm
    Altura 6.3 in. (160 mm) nominal,
    no cambia cuando está apagada la SEM-Base
    Temperatura de funcionamiento 50° - 90° F
    10° - 32° C
    Temperatura de almacenamiento -40° - 130° F
    -40° - 55° C
    Humedad 30 - 60 %, max dewpoint 18oC
    Requisitos de alimentación del sistema 100, 120, 230, 240 VCA
    50/60 Hz CA; <600 W
    Cumplimiento CE
    Desplazamiento del piso <800 μin. (20 μm) below 10 Hzd>
    Especificaciones de controlador integrado
    Procesador 150/75 MHz doble núcleo
    Tasa de muestreo 10 kHz
    Salidas analógicas 16 canales
    Entradas analógicas 16 canales
    Luz de estado LED simple
    Puertos de panel delantero 1x serial USB 2.0
    1x serial Micro-USB
    1x Ethernet RJ-45
    2x BNC
    Interfaz de usuario Pantalla LCD de panel delantero
    Menú de caracteres en HyperTerminal
    GUI extendida para Microsoft Windows
    GUI Ethernet incorporada

  • Video +

    • SEM-Base LP Install Video

      SEM-Base LP Installation Under a Scanning Electron Microscope

  • To Order +


    Contact TMC. An Application Engineer will configure a system for your unique requirements and provide a quotation.
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