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STACIS III

STACIS III pods and controller on white bg
  • Descripción general +


    STACIS® III es un sistema flexible y avanzado de aislamiento contra vibraciones activas. Empleando sensores de vibración inerciales avanzados, algoritmos de control sofisticados y actuadores piezoeléctricos de vanguardia, STACIS cancela la vibración en tiempo real midiendo continuamente la actividad del piso, y luego expandiendo y contrayendo los actuadores piezoeléctricos para filtrar el movimiento del piso.

    Diseñado inicialmente para aislar equipos de microlitografía, metrología e inspección de precisión en fábricas de semiconductores avanzados, STACIS es ahora la solución estándar de la industria para los instrumentos más sensibles en entornos ruidosos, incluidos, entre otros, fabricantes de semiconductores, laboratorios de análisis de fallas, investigación en nanotecnología, instalaciones de nanofabricación y la investigación de materiales.

    STACIS III incluye un controlador digital nuevo y mejorado, el DC-2020. Con un nuevo procesador de doble núcleo y Ethernet, así como puertos seriales USB en los paneles frontal y posterior, este nuevo sistema de control avanzado proporciona al usuario una interfaz gráfica de usuario (GUI) moderna y fácil de usar. Con cientos de instalaciones exitosas en todo el mundo, STACIS es el sistema ideal de aislamiento contra vibraciones para los instrumentos más sensibles a las vibraciones. 
  • GUI web de STACIS +


    Las soluciones piezoeléctricas activas de STACIS se pueden controlar a través de una interfaz de usuario intuitiva basada en la web ( GUI web ) desde un navegador web * en una PC: no se requiere ningún software adicional.

    STACIS vibration isolation Web GUI home screen

    La GUI web permite a los usuarios ver el estado, administrar el funcionamiento y la configuración e ingresar comandos de diagnóstico.

    STACIS vibration isolation Web GUI control screen
    Web GUI Plus

    TMC ofrece una versión mejorada de la GUI web para usuarios avanzados. Es una alternativa rentable a la visita in situ de un ingeniero de servicio de TMC.

    STACIS vibration isolation Web GUI oscilloscope

    Web GUI Plus incluye capacidades de diagnóstico avanzadas adicionales, así como un osciloscopio incorporado que puede monitorear la entrada y salida de vibraciones para cada eje.

    * Chrome y Firefox oficialmente compatibles. Otros navegadores también pueden funcionar.
  • Ventajas de STACIS III +


    Cientos de veces más rígido que los aisladores de aire, STACIS no tiene ninguna de las limitaciones de los sistemas de aislamiento de vibración de aire. No hay una suspensión “suave” y, a diferencia de los sistemas de aire activos, STACIS puede colocarse debajo de una herramienta con un sistema de aislamiento de aire activo interno con ambos sistemas totalmente optimizados.

    El diseño único en serie y la tecnología piezoeléctrica patentada de alta fuerza 
    da como resultado un ancho de banda activo amplio de 0,6 Hz a 150 Hz y un aislamiento de vibración verdaderamente activo e incomparable con una reducción del 90 % de la vibración a partir de 2 Hz.

  • Rendimiento +



    4500 lbs (2045 kg) de carga útil probada con vibración simulada a VC-C (500 μin./s, 12,5 μm/s RMS)

  • Especificaciones +


    Especificaciones de rendimiento
    Grados de libertad activos 6
    Ancho de banda activo 0,6 Hz - 150 Hz
    Frecuencia natural pasiva 18 Hz vertical and horizontal
    Frecuencia de resonancia activa efectiva 0,5 Hz
    Aislamiento a 1 Hz 40 % - 70 %
    Aislamiento a ≥2 Hz ≥90 %
    Tiempo de establecimiento después de una entrada de paso de 10 lb (4,5 kg) (reducción de 10:1) 0,3 seg
    Ruido interno <0.1 nm RMSd>
    Rango de carga operativa por aislador Baja capacidad: 400-1100 lbs (182-500 kg)
    Capacidad media: 900-2100 lbs (410-955 kg)
    Capacidad alta: 1900-4500 lbs (864-2045 kg)
    Rigidez (1000 lb/454 kg de masa, aislador de capacidad media) 40.000 lb/in. (73 x 105 N/m)
    Campo magnético emitido a un máximo de 4 in. (102 mm) desde el aislador <0.02 μG broadband RMSd>
    Diseño de aisladores, dimensiones y requisitos ambientales y de utilidad
    Medio ambiente y seguridad Cumplimiento CE y RoHS
    Elementos de aislamiento activo Actuadores piezoeléctricos con un mínimo de 3300 lb. (1500 kg) de capacidad para recibir la señal de un amplificador de alto voltaje con una salida de hasta 800 VCC. Los actuadores verticales soportan la carga útil aislada.
    Elemento de aislamiento pasivo elastómero isotrópico rígido simple (no se requiere suministro de aire comprimido)
    Elementos de sensor de vibración Sensores inerciales tipo geófono orientados hacia abajo que miden la vibración del piso debajo del aislador y suministran un voltaje proporcional a la velocidad del movimiento de vibración
    Bucle de control de retroalimentación activa La vibración del piso se mide, procesa y atenúa debajo del resorte que soporta la superficie aislada
    Dimensiones del aislador (AnxPxAl) 11,75 x 12,5 x 10,8 in.
    300 x 320 x 275 mm
    Peso de aislador 75 lb (34 kg)
    Temperatura de funcionamiento 50° - 90° F
    10° - 32° C
    Temperatura de almacenamiento -40° - 130° F
    -40° - 55° C
    Humedad 30 - 60 %
    Requisitos de alimentación del sistema 100, 120, 230, 240 VCA
    50/60 Hz CA; <600 W
    Cumplimiento CE
    Desplazamiento del piso <480 μin. (12 μm) below 10 Hzd>
    Conteo de aislador por sistema mínimo de 3
    Opciones plataformas de acero inoxidable laminado, marcos, elevadores, dispositivos de nivelación, restricciones contra terremotos, campanas de elevación
    Especificaciones de controlador DC-2020
    Dimensiones (AnxPxAl) 19 x 8,5 x 1,75 in.
    483 x 216 x 45 mm
    Peso 6,3 lb (2,9 kg)
    Procesador 150/75 MHz doble núcleo
    Tasa de muestreo 10 kHz
    Salidas analógicas 16 canales
    Entradas analógicas 16 canales
    Luz de estado LED simple
    Puertos de panel delantero 1x serial USB 2.0
    1x serial Micro-USB
    1x Ethernet RJ-45
    2x BNC
    Puertos de panel posterior 1x serial USB 2.0
    1x Ethernet RJ-45
    1x RS-232 DB-9 serial heredado para aisladores STACIS 2100 heredados
    Interfaz de usuario Pantalla LCD de panel delantero
    Menú de caracteres en HyperTerminal
    GUI extendida para Microsoft Windows
    GUI Ethernet incorporada
  • Notas de aplicación +

  • Fotos de aplicación +

  • Para ordenar +


    Los sistemas STACIS® III están diseñados bajo pedido para su herramienta en específico y condiciones del piso. 
    Póngase en contacto con nuestro Equipo de ingeniería de aplicación de productos activos de manera que podamos proponer una configuración adecuada para su aplicación.
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