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STAGE-Base

Vibration cancellation system for moving stage semiconductor tools
  • Descripción general +


    TMC continúa aplicando tecnología avanzada para desarrollar nuevas soluciones a las exigentes demandas que las herramientas de semiconductores colocan en sus sistemas de aislamiento contra vibraciones. Stage-Base 450 está diseñado específicamente para ser el principal sistema de cancelación de vibración para herramientas avanzadas de semiconductores que incorporan etapas X-Y motorizadas de alta precisión. Si bien estas herramientas requieren una cancelación de vibración extremadamente eficiente, igual de crítica, requieren que el movimiento de carga útil inducido por la etapa se asiente muy rápidamente para maximizar el rendimiento de la herramienta. Con la adición de VCM con control de alimentación anticipada para un tiempo de ajuste aún más rápido para aumentar más el rendimiento, el resultado es el sistema más avanzado de cancelación de movimiento y vibración activa para aplicaciones de etapa móvil.

    Patente pendiente

  • Ventajas de Stage-Base +


    Stage-Base 450 es la próxima generación en cancelación activa de vibración piezoeléctrica de montaje duro que integra la tecnología de bobina de voz. Solo TMC puede ofrecer esta tecnología única de tipo serial para la cancelación avanzada de vibraciones de baja frecuencia con motores de bobina de voz (VCM) para la cancelación agresiva de movimiento de la etapa móvil.

    El sistema de control activo de próxima generación Stage-Base 450 incorpora la tecnología STACIS de TMC para lograr una cancelación de vibración extrema con actuadores piezoeléctricos y una suspensión rígida en una arquitectura de tipo serial. Esto da como resultado un aislamiento de la vibración del piso a partir de 0,6 Hz sin igual en la industria con una desviación inicial significativamente menor en respuesta a las fuerzas de la etapa.

  • Especificaciones +


    • Incorpora la exclusiva tecnología STACIS®
    • Emplea actuadores piezoeléctricos de alta fuerza y carrera extendida
    • Repetibilidad de posición de la carga útil dentro de micrones
    • Diseño para montaje en bastidor
    • 6 grados de libertad activos
    • Alimentación anticipada opcional y/o retroalimentación con VCM
    • Aislamiento contra vibraciones activo a partir de 0,6 Hz
    • Tiempo de establecimiento rápido en respuesta al movimiento de la etapa
    • Sin suspensión de aire suave
    • Controlador digital de alta velocidad con interfaz gráfica de usuario (GUI) basada en PC a través de USB 2.0
    • Sencillo, robusto y rentable
  • Rendimiento +




  • Fotos de aplicación +

  • Para ordenar +


    Contacte a TMC. Un ingeniero de aplicaciones configurará un sistema para sus requisitos únicos y proporcionará una cotización.